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X-LED装备事业部


事业部简介

X-LED装备事业部设计制造的微纳装备产品,加工尺度在纳米量级,主要包括:

PVD(磁控溅射、电子束热蒸发、PLD脉冲激光薄膜沉积、有机/金属手套箱薄膜沉积(有机/无机)、MBE分子束外延、半导体合金退火炉、真空等离子体基片清洗机、离子减薄仪等)

CVD(MOCVD、LPCVD、PECVD、热丝CVD、微波等离子体CVD、超高温CVD、金刚石硬质涂层设备、光学级和电子级金刚石薄膜设备、石墨烯薄膜设备等)

配套真空电源(直流电源、射频电源、热蒸发电源、偏压电源、基片加热温控电源、束源炉电源等)

可广泛应用于:新材料、新能源、光电子、微电子、微机电系统(MEMS)、传感器、表面技术、界面技术、微纳机器人、生物工程、精准医疗、高端微纳精密制造等领域。

围绕公司的量子点半导体发光材料与量子点LED器件,研发和制造相关成套工艺设备,用于科学研究、中试和生产。

围绕国家第三代半导体战略布局,研发和制造相关设备。

研发制造金刚石薄膜制备设备,如小型实验室用的热丝CVD、大型矩形立式多镀膜室的连续金刚石薄膜生产设备、中功率(≤20KW)微波等离子体金刚石薄膜制备设备

研发制造团簇式OLED成套设备

研发制造团簇式太阳能薄膜电池设备

研发制造真空机械手

PBN氮化硼坩埚

承接创新材料与器件的配套非标设备的研发制造

主要产品

一、PVD设备(磁控溅射镀膜机、电子束与热蒸发薄膜沉积系统)

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二、CVD设备(LPCVD、PECVD、MOCVD、热丝CVD)

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三、手套箱与镀膜机一体化设备

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四、半导体合金退火炉

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五、直流溅射电源、射频溅射电源(可自动调谐)、热蒸发电源

  



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