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多功能PVD镀膜设备阴极沉积源系统招标公告

作 者:扑浪创新 关注:430 发表时间:2019-05-28 13:53:14


多功能PVD镀膜设备阴极沉积源系统招标公告

 

一、项目编号:PLCX20190528

二、项目名称:多功能PVD镀膜设备阴极沉积源系统

三、项目地址:深圳市龙岗区坂田街道环城南路禾塘智园8栋1楼

四、招标方式:自主招标

五、招标内容:

采购品名

数量

单位

矩形平面磁控靶阴极

技术要求:靶基距可调,安装靶材宽度120mm、长度600mm,间冷结构,强磁场设计(溅射磁性材料),兼容直流和射频溅射模式。法兰接口与现有设备匹配。

1

电磁圆弧靶阴极

技术要求:靶材直径100mm,间冷结构,可快速更换靶材,配电磁激励线圈,通过电磁场控制弧斑快速扩散。法兰接口与现有设备匹配。

3

线性离子源

技术要求:宽度126mm,长度600mm,高电压低束流,产生高浓度等离子体,用于基材表面清洗和活化。法兰接口与现有设备匹配。

1

 

 

六、投标人资格要求:

 

1. 投标人必须是在中华人民共和国境内注册的,具有独立法人资格和独立承担民事责任能力,有能力提供招标货物和服务(提供营业执照扫描件,原件备查);

2. 本项目不接受联合体投标,不允许分包;

3. 参与采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录;

 

七:招标日期

 

2019年5月28日——2019年67

八、联系方式

 

单位名称:深圳扑浪创新科技有限公司

详细地址:深圳市龙岗区坂田街道环城南路禾塘智园8栋1楼

联系电话:0755-84829717,13928209327

联系人:赵俊亮,陈天兰

电邮:zhaojl@planckinnovation.com; chentl@planckinnovation.com

 

  



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