多功能PVD镀膜设备阴极沉积源系统招标公告,深圳扑浪创新科技有限公司,深圳扑浪量子半导体有限公司

多功能PVD镀膜设备阴极沉积源系统招标公告

一、项目编号：PLCX20190528

二、项目名称：多功能PVD镀膜设备阴极沉积源系统

三、项目地址：深圳市龙岗区坂田街道环城南路禾塘智园8栋1楼

四、招标方式：自主招标

五、招标内容：

采购品名	数量	单位
矩形平面磁控靶阴极技术要求：靶基距可调，安装靶材宽度120mm、长度600mm，间冷结构，强磁场设计（溅射磁性材料），兼容直流和射频溅射模式。法兰接口与现有设备匹配。	1	套
电磁圆弧靶阴极技术要求：靶材直径100mm，间冷结构，可快速更换靶材，配电磁激励线圈，通过电磁场控制弧斑快速扩散。法兰接口与现有设备匹配。	3	套
线性离子源技术要求：宽度126mm，长度600mm，高电压低束流，产生高浓度等离子体，用于基材表面清洗和活化。法兰接口与现有设备匹配。	1	套

六、投标人资格要求：

1. 投标人必须是在中华人民共和国境内注册的，具有独立法人资格和独立承担民事责任能力，有能力提供招标货物和服务（提供营业执照扫描件，原件备查）；

2. 本项目不接受联合体投标，不允许分包；

3. 参与采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录；

七：招标日期

2019年5月28日——2019年6月7日

八、联系方式

单位名称：深圳扑浪创新科技有限公司

详细地址：深圳市龙岗区坂田街道环城南路禾塘智园8栋1楼

联系电话：0755-84829717，13928209327

联系人：赵俊亮，陈天兰